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简要描述：该仪器具备转盘式针孔共聚焦和白光干涉两种光学测量技术，用于各种材料/涂层/器件的高精度表面三维特征 测量，能够测量从粗糙的到光滑的，坚硬的到柔软的，黏性的表面以及各种场合下难于测量的表面，适用于金属材 料、非金属材料、复合材料、薄膜、涂层、器件等各种各样材料的表面微观结构特征的3D成像，提供各种粗糙度， 表面结构的台阶高度，角度、体积、长度、深度等多种数据的测试分析、相似特征的统计分析，轮廓提取等
产物型号：厂商性质：代理商产物资料：更新时间：2024-11-09访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量： 2991产物分类
Product Category详细介绍
高阶软件分析功能
全套的分析功能：
- 2D形貌、3D形貌、二进制图像、显微图像、等高线图像。
- 提取区域、提取剖面、抽取边界轮廓、将一个表面转换为一个剖面系列、重新取样、基准面校平。
- 表面纹理与形状参数如各种标准的面粗糙度、线粗糙度、距离&角度测量、台阶高度、面面角度差、方向&斜率。
- 图形&纹理单元的检测分析、颗粒&凸起&凹洞&空隙等特征统计数据、分形分析、孔/磨痕的体积、波谷深度、纹 理方向、体积参数、切片分析。
- 可创建分析模板，只需导入数据文件，自动生成测试报告。
- 满足ISO 25178、ISO 4287、ASME B46.1、EUR 15178、ISO 16610-61、ISO 16610-62、ISO 16610-71等。
① 各种减薄、研磨、抛光之后的表面粗糙度、表面三维形貌、加工纹理、瑕疵的检测
② 晶圆IC制造过程中各种微纳结构的叁维形貌、台阶高度等叁维尺寸、制造缺陷的检测、以及光罩上的异物和瑕疵检测
③ 薄膜的厚度、表面粗糙度及缺陷的测量
④ 表面机械损伤、表面冗余物的检测
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