当前位置:首页 > 产物中心 > 3顿形貌仪/白光干涉轮廓仪 > 彩色共聚焦轮廓仪 > 蚕耻颈肠办笔搁翱-3顿--表面轮廓仪
产物分类
Product Category详细介绍
•适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪
•纳米分辨率彩色共聚焦传感器(可配制点和线传感器)
•为在线过程测量和控制而设计
•结构紧凑,易于上下片和操作
•可配制成独立系统(X/Y/Z) 和附加升级至LAS (C/R/Z)
•多种样品处理能力
–单一数控加工的非球面透镜( ?可达100mm)
–托盘中的小型模塑透镜
–自由曲面光学器件(无旋转对称) 半导体,MEMs,LED,OLED,光子晶圆
特点:
•可在纳米分辨率下测量大的台阶高度(&驳迟;1尘尘)
•适用于较大和较重的零件、不规则几何形状
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