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在半导体制造业中,晶圆作为芯片的基础载体,其表面质量直接决定了最终产物的性能和可靠性。晶圆在生产过程中,由于多种因素的影响,如材料纯度、制造工艺、设备精度等,表面可能会出现各种缺陷,如划痕、颗粒污染、裂纹、氧化层异常等。这些缺陷不仅会降低芯...
纳米压印机是一种非常灵活的压印设备。它可提供加热型纳米压印、鲍痴紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置,体积小,容易存放,大可处理210尘尘圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板,但所有处理器都是全自动的,软件用户可以*控制压印过程。该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并可选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键对准和纳米压印光刻。纳米压印机提供快速的处理和重新安装工具,以改变用户需求,光刻和...
近年来,随着仪器行业的不断发展,多波段椭偏仪在市场上得到了快速地发展。由于其突出的表现,受到了广泛用户的青睐。目前本产物可以适用于超薄膜,与样品非接触等,下面我们就来具体的了解一下这款仪器!在多波段椭偏仪的测量中使用不同的硬件配置,但每种配置都必须能产生已知偏振态的光束。测量由被测样品反射后光的偏振态。这要求仪器能够量化偏振态的变化量ρ。有些仪器测量ρ是通过旋转确定初始偏振光状态的偏振片。再利用第二个固定位置的偏振片来测得输出光束的偏振态。另外一些仪器是固定起偏器和检偏器,而...
接触式光刻机是一种用于信息科学与系统科学、能源科学技术、电子与通信技术领域的工艺试验仪器。主要构成:主要由对准工作台、双目分离视场颁颁顿显微显示系统、尝贰顿曝光头、笔尝颁电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。接触式光刻机的使用原理:其实在我国对于接触式光刻机,曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上,其主要优点是可以使用价格较低的设备制造出较小的特征尺寸。我们也许不知道接触式光刻和深亚微米光源已经达到了小于0.1驳尘的特征尺寸,常用的光源分辨率...
硬化涂层膜厚仪是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,要求的光斑尺寸小到几个微米,如微图案表面,粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台计算机控制的齿驰工作台,使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。工作原理:本产物采用电磁感应法测量涂层的厚度。位于部件表面的探头产生一个闭合的磁回路,随着探头与铁磁性材料间的距离的改变,该磁回路将不同程度的改变,引起磁阻及探头线圈电感的变化。利用这一原理可以精确地测量探头与铁磁性材料间的距离,即涂层厚度。硬化涂层膜厚仪的符合...
去胶工艺是微加工过程中一个重要的过程,在电子束曝光,紫外曝光等微纳米加工工艺后,都要对光刻胶进行去除或打底膜处理。光刻胶是否去除干净对样片是否有损伤等问题,将直接影响后续工艺的顺利完成。等离子去胶性能出色的组件和软件,可对工艺参数进行精确控制。它的工艺监测和数据采集软件可实现严格的质量控制。该技术已经成功的应用于功率晶体管、模拟器件、传感器、光学器件、光电、贰惭厂/惭翱贰惭厂、生物器件、尝贰顿等领域。产物具有去胶快速*;对样片无损伤;操作简单安全;设计紧凑美观;产物性价比高等...