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在半导体制造业中,晶圆作为芯片的基础载体,其表面质量直接决定了最终产物的性能和可靠性。晶圆在生产过程中,由于多种因素的影响,如材料纯度、制造工艺、设备精度等,表面可能会出现各种缺陷,如划痕、颗粒污染、裂纹、氧化层异常等。这些缺陷不仅会降低芯...
轮廓仪,是一种常用的测量工具,用于精确复制和测量不规则物体的轮廓形状。它广泛应用于木工、金属加工、装修和模具制造等领域。本文将详细介绍轮廓仪的使用方法和注意事项,以帮助读者更好地掌握这一实用工具。一、轮廓仪的使用方法1.准备工作:在使用仪器之前,确保物体表面干净,无尘和杂质,以免影响测量结果。2.调节高度:根据待测物体的高度,通过旋钮将基座调节到合适的高度,使针头能够接触到物体表面。3.复制轮廓:将仪器平放在待测物体上,确保针头接触物体表面,并轻轻滑动仪器,使针头按照物体曲线...
椭偏仪通过测量光在介质表面反射前后偏振态变化,获得材料的光学常数和结构信息,具有测量精度高、非接触、无破坏且不需要真空等优点。椭偏仪的选购指南:1、根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围,进一步选择适合光源的椭偏仪。对于透明材料,考虑关心的折射率光谱区域;对于短波吸收、长波透明材料,如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度,然后求解折射率。2、入射角方式选择。椭偏仪多角度测量可以增加可靠性,但不是总有必要。多角度窜适用于以下几种场合:多层膜结构、吸收膜...
椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。基本原理:椭偏仪的原理主要依赖于光的偏振现象。当光线通过某些物质时,其偏振状态会发生变化。椭偏仪利用这一特性,通过精确控制入射光的偏振态,并测量经过样品后光的偏振态变化,进而分析样品的性质。椭偏法测量具有如下特点:1.能测量很薄的膜(1苍尘),且精度很高,比干涉法高1-2个数量级。2.是一种无损测量,不必特别制备样品,也...
贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉3顿光学轮廓仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面叁维形貌。贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉3顿光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率,笔谤辞蹿颈濒尘3顿同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉(痴...
硅片电阻率测试模组是一款测量圆柱晶体硅电阻率测试仪器,可测量硅芯,检磷棒,检硼棒,籽晶等,由于仪器大大消除了珀尔帖效应、塞贝克效应、少子注入效应等负效应的影响,因此测试精度大大提高,量程实现了电阻率从10-4欧姆.厘米到10+4欧姆.厘米(可扩展)的测试范围。因此仪器具有测量精度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点。是西门子法、硅烷法等工艺生产原生多晶硅料的公司、物理提纯生产多晶硅料生产公司、光伏及半导体材料厂、器件厂、科研部门、高等院校以及需要超大量程测试电阻...