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适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪，纳米分辨率彩色共聚焦传感器（可配制点和线传感器），为在线过程测量和控制而设计，结构紧凑，易于上下片和操作，可配制成独立系统（X/Y/Z） 和附加升级至LAS （C/R/Z），多种样品处理能力

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 （SD-OCT） 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合，可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度（高达 100μm）和轴向分辨率 （5nm） 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。

晶圆几何形貌测量及参数自动检测机使用高精度高速光谱共焦双探头对射传感器实现晶圆的非接触式测量，结合高精度运动模组及晶圆机械手可实现晶圆形貌的亚微米级精度的测量，该系统适用于晶圆多种材质的晶圆，包括蓝宝石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；可以实现的尺寸与结构测量内容包括：包括 TTV, Bow, Warp, Thickness， TIR, Sag, LTV (Fullmap 测试)。

Filmetrics 3D光学轮廓仪具有3倍於于其成本仪器的次纳米级垂直分辨率, Profilm3D同样使用了现今高分辨率之光学轮廓仪的测量技术包含垂直扫描干涉（VSI）及相移干涉（PSI）。