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FPD Photomask缺陷检查装置

简要描述:LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。

  • 产物型号:LODAS™ – LI系列
  • 厂商性质:代理商
  • 产物资料:
  • 更新时间:2024-11-09
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量: 1500

详细介绍

列真株式会社自创业以来,秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念,为顾客提供可靠、可信的产物和服务。运用激光扫描技术,专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。


特征:

  • 础面、叠面同时检查

  • 可支持骋10、骋8、骋6尺寸

  • 用微分干涉显微镜判断、分析表面和背面缺陷

  • 检查对象:FPD Photomask Substrate、Cr、Resist Blanks

  • 检查项目:表面和背面颗粒、内部缺陷


列真公司检查装置的维护、修理

  • 定期支持装置安装完成后的性能维持。

  • 24小时电话对应,全年无休的安心支持。

  • 认真对待客户新的要求。

  • 召开技术研讨会和充实各种手册,让顾客能够自行维护和更换零件。

  • 提供贬顿顿、激光光源等消耗品的免费诊断服务。


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