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LODAS™ – CI8是列真株式会社推出的一款化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置。

鲍濒迟谤补滨狈厂笔晶圆表面缺陷检测系统是表面缺陷检测的蕞完善的国产化替代产物，系统包括四个模块可以检测所有晶圆表面并同步采集数据：晶圆正面、背面、边缘缺陷检测模块；轮廓、量测和检查模块；

iFocus是一款用于晶圆外观缺陷检测设备，利用STI的2D/3D视觉检测系统，采用双2D Camera同时采集亮区和暗区照片分析特征缺陷；True 3D技术，可以精确量测Bumping高度，Bumping共面性等特征。可适用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等产物外观检测。

LODAS™ – LI系列是列真株式会社推出的一款FPD Photomask缺陷检查装置。

LODAS™ – BI12是列真株式会社推出的一款GlassWafe缺陷检查装置。

LODAS™ – BI8是列真株式会社推出的一款Photomask Blanks缺陷检查装置。