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iFocus是一款用于晶圆外观缺陷检测设备，利用STI的2D/3D视觉检测系统，采用双2D Camera同时采集亮区和暗区照片分析特征缺陷；True 3D技术，可以精确量测Bumping高度，Bumping共面性等特征。可适用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等产物外观检测。